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JSM-5610LV扫描电子显微镜
1、设备型号:JSM-5610LV型JSM-5610LV钨灯丝扫描电镜,是由日本电子株式会社(JEOL)制造的新型数字化低真空扫描电镜,配有美国EDAX公司的能谱仪。
2、技术参数:
放大倍率:×18~30万倍
分辨率:3.5nm高真空,4.5nm低真空
加速电压:0.5~30kV
低真空压力范围:1~270Pa
全对中样品台样品移动范围:X—80mm,Y—40mm,Z—5~48mm
倾斜:-10°~90°
旋转:360°
元素分析范围:5B~92U
3、主要功能:
配有高灵敏度的二次电子探头和背散射探头,可用于各种材料的组织形貌观察、金属材料断口分析和失效分析,以及样品的成分衬度观察。可方便从高真空模式切换到低真空模式(LV),直接对不导电或含水分的样品进行观察。 配备美国EDAX公司的能谱仪,可对样品进行定性、定量微区成分分析。